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半导体行业对于特种气体气源柜的分析

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半导体行业对于特种气体气源柜的分析

发布日期:2017-07-31 00:00 来源:http://www.myceejay.com 点击:

气源柜

    用于半导体工业的特种气体,又称电子气,在半导体器件临盆进程中由气源柜掌握与保送。近几年来,跟着我国超范围集成电路、平板显示器、光伏发电等家当的敏捷成长,电子气市场需求显著增加,关于气源柜的需求愈来愈年夜。若何在包管气源的应用平安的条件下,进步临盆效力,便利客户操作,是特种气体气源柜设计的症结。

    依据特种气体的性质,应用情况,停止气源柜的研发,重点研讨半导体行业特种气体气源柜的整体计划设计,包含全体产物的设计构想,整体结构,气体防泄露设计,惰性气体掩护设计,肯定了零件的构造组成;增长了高压持续吹扫体系,选用主动焊接工艺停止管线衔接,增强密封掩护办法,在平安性和外不雅性方面同时改良,使其顺应市场的需求;应用气体流量盘算,负气源输入气体更精准;针对气体特别性质,停止真空测试和压力测试和靠得住性实验与剖析,处理了该产物难点,并终究到达设计请求,成为国际半导体行业中的抢先产物。

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